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簡(jiǎn)要描述:日本理音RION KS-42A/KS-42AF液體粒子計數器日本理音RION KS-42A液體粒子計數器詳情介紹RION/日本理音液體粒子計數器,可檢測從純水到氫氟酸各種冬樣的液體,液體計數器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子,如半導體制程中的專(zhuān)用材料比如SOG和光陽(yáng)材料,超純水和清洗田化學(xué)劑比如堿,有機溶劑和氫氧酸,另外,也可檢測化學(xué)機械拋光中大粒徑的研磨液,測試方法包括在線(xiàn)和離線(xiàn)規試。
詳情介紹
RION/日本理音液體粒子計數器,可檢測從純水到氫氟酸各種冬樣的液體,液體計數器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子,如半導體制程中的專(zhuān)用材料比如SOG和光陽(yáng)材料,超純水和清洗田化學(xué)劑比如堿,有機溶劑和氫氧酸,另外,也可檢測化學(xué)機械拋光中大粒徑的研磨液,測試方法包括在線(xiàn)和離線(xiàn)規試。
液體顆粒傳感器
測量液體中0.1μm的顆粒
計數效率高,可以用少量樣品進(jìn)行測量
使用石英作為電池
液體顆粒傳感器,與氫氟酸兼容
測量化學(xué)溶液中0.1μm的顆粒
計數效率高,可以用少量樣品進(jìn)行測量
藍寶石用于電池
光源 鐳射二極管(波長(cháng):830nm,額定輸出:200mW)
鐳射材料 KS-42A 人造石英PFA
KS-42AF 藍寶石PFA(可測氫氟酸)
流量 10ml/分鐘
粒徑范圍(5通道) ≥0.1µm,≥0.15µm,≥0.2µm,≥0.3µm,≥0.5µm標配(可選≥1.0µm)
可選通道 1-10個(gè)通道,由控制器設定,設定范圍:0.1,0.13~0.5µm
粒子數量 1200顆/ml
電源 DC12V(由KE-40B1供應)
尺寸.重量 125×240×151mm,大約:4kg
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